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Towards Green 3D-Microfabrication of Bio-MEMS Devices Using ADEX Dry Film Photoresists

저자

Roos M.M.,Winkler A.,Nilsen M.,Menzel S.B.,Strehle S.

학술지명

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing - Green Technology

출판/발행연도

2022

주제

요약

본 연구는 건강 모니터링 및 현장 진단을 위한 소형화된 진단 기기의 수요 증가에 따라, 친환경적이고 빠른 마이크로패브리케이션을 위해 ADEX 드라이 필름 포토레지스트를 활용한 3D 바이오-MEMS 장치 제작 기술을 개발했습니다. ADEX를 사용하여 미세 캔틸레버 빔 수정, 미세유체 채널 조립, 기판으로 직접 활용하는 패턴 형성 등 다양한 응용 시나리오를 시연했으며, 실리콘 나노와이어를 ADEX 기판에 통합하여 바이오 프로브 아키텍처를 구현했습니다.

학술지 영향력

[International Journal of Precision Engineering and Manufacturing - Green Technology]