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High Temperature Oxidation Characteristics of CrAlMgN Thin Films between 800 and 1000 ℃ in Air

저자
Dong Bok Lee, Trinh Van Trung, Sun Kyu Kim
학술지명
대한금속·재료학회지
출판/발행연도
2013
요약

CrAlMgN 박막은 SKD 11 공구강에 캐소딕 아크 플라즈마 증착법으로 증착되었으며, 800~1000℃에서 최대 50시간 동안 공기 중에서 산화 특성을 연구하였다. Cr2O3 및 α-Al2O3 산화물 결정의 형성에 의해 우수한 산화 저항성을 나타냈으며, 산화 활성화 에너지는 200 kJ/mol로 측정되었다.

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