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Thickness-dependent Electrical, Structural, and Optical Properties of ALD-grown ZnO Films
저자
최영준, 강경문, 박형호
학술지명
마이크로전자 및 패키징학회지
출판/발행연도
2014
주제
요약
본 연구는 다양한 성장 온도에서 원자층 증착법으로 성장시킨 산화아연 박막의 두께에 따른 전기적, 구조적, 광학적 특성을 조사했습니다. 박막 두께가 전기 전도도에 미치는 영향을 분석하고, 최적의 박막 두께를 결정하여 유기 발광 다이오드 및 태양 전지와 같은 광전 소자 응용에 필요한 정보를 제공합니다.
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