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압저항 방식의 μN급 MEMS 추력 측정 시스템 설계 및 성능 예측

저자
류영석, 이종광
학술지명
한국추진공학회지
출판/발행연도
2018
요약

본 연구에서는 마이크로 추력기의 성능 평가를 위한 MEMS 추력 측정 시스템을 설계하고 성능 예측 연구를 수행하였다. 시스템은 빔, 박막, 압저항 센서로 구성되며, FEM 해석을 통해 시스템의 안정성을 검증하고 센서의 최적 설계를 도출하였다. 압저항 센서는 높은 게이지 계수를 확보하기 위해 빔 길이의 20%로 설계되었으며, 시스템의 안정성은 재료의 허용응력과 최대응력 비교를 통해 검증되었다.

학술지 영향력
[한국추진공학회지]
KCI
0.28

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