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반도체 작업환경의 VOCs 농도분포 특성

저자
이정주
학술지명
한국도시환경학회지
출판/발행연도
2018
요약

본 연구는 반도체 공정(PHOTO, FPD, OLED, WET) 작업환경에서 PTR-ToF-MS를 이용하여 VOCs를 실시간으로 모니터링하고, 각 공정별 VOCs 농도 분포를 분석하였다. 주요 VOCs는 메틸 에틸 케톤과 아세트알데히드가 대부분을 차지했으며, 공정 특성에 따라 다양한 VOCs가 관측되었다.

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