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전기수력학젯 분산 기술을 이용한 아연-주석 산화물 박막트랜지스터의 인듐 도핑 효과
저자
최운섭
학술지명
대한금속·재료학회지
출판/발행연도
2019
주제
요약
전기수력학젯 분산 기술을 이용하여 아연-주석 산화물 박막트랜지스터에 인듐 도핑 효과를 연구하였다. 인듐 도핑은 박막 내 금속 산화물 형성을 증가시켰으며, 이를 통해 비도핑 TFT 대비 향상된 전기적 특성을 얻을 수 있었다. 특히, 0.1M 인듐 도핑된 ZTO TFT는 높은 이동도, 낮은 문턱 전압, 우수한 전류비 및 서브쓰레숄드 기울기를 나타냈다.
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