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반도체 광원 적용을 위한 3차원 나노 구조 개발

저자
김제원
학술지명
융합정보논문지
출판/발행연도
2020
요약

본 연구는 기존 2차원 구조의 한계를 극복하기 위해 입체적인 나노 프레임 구조를 설계하고, 미세 패턴 및 반응성 에칭 방법을 적용한 반도체 공정을 제시합니다. 수직성이 향상된 나노 캐비티와 나노 기둥 구현을 통해 나노 구조의 반도체 광원 적용 가능성을 확인했습니다.

학술지 영향력
[융합정보논문지]
KCI
0.96

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