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반도체 계측 데이터 기반 군집화를 활용한 개선된 품질 예측 방법론
저자
강희종, 백준걸
학술지명
대한산업공학회지
출판/발행연도
2020
주제
요약
본 연구는 반도체 제조 과정에서 발생하는 다양한 결함을 예측하고 품질을 향상시키기 위해 실제 제조 데이터를 활용하여 군집화 기반의 품질 예측 방법론을 제안합니다. k-means 및 SOM과 같은 비지도 학습 기법을 통해 결함 유형을 특성별로 분류하고, 이를 통해 품질 예측 성능을 향상시켜 AUC 및 partial AUC에서 각각 4.4%p, 6.8%p의 개선 효과를 확인했습니다.
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