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Machine-learning-assisted analysis of transition metal dichalcogenide thin-film growth

저자

Kim H.J.,Chong M.,Rhee T.G.,Khim Y.G.,Jung M.H.,Kim Y.M.,Jeong H.Y.,Choi B.K.,Chang Y.J.

학술지명

Nano Convergence

출판/발행연도

2023

주제

요약

본 연구는 분자선 에피택시(MBE)를 이용하여 그래핀 기판 위에 2D 전이 금속 디칼코게나이드(ReSe2) 박막 성장을 머신러닝(ML) 기반 반사 고에너지 전자 회절(RHEED) 분석법을 통해 조사했습니다. 주성분 분석(PCA) 및 K-평균 클러스터링을 사용하여 통계적으로 중요한 패턴을 분리하고 패턴 변화 추세를 시각화했으며, 수정된 PCA를 통해 기판의 영향을 제거하고 ReSe2 층의 회절 강도를 모니터링했습니다.

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