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Top-down nanofabrication approaches toward single-digit-nanometer scale structures
저자
오동교, Heonyeong Jeong, Joohoon Kim, 김예슬, 김인기, Jong G. Ok, 노준석
학술지명
Journal of Mechanical Science and Technology
출판/발행연도
2021
주제
요약
본 논문은 단일 자릿수 나노미터 크기의 구조체 제작 기술의 최근 발전을 다루며, 전자빔 리소그래피, 집속 이온빔 밀링, 원자층 증착 등 다양한 상향식 나노 제작 방법을 논의합니다. 이러한 나노 구조체는 광학 트래핑, 센싱, 이미징, 전자 장치 등 다양한 분야에서 활용될 수 있습니다.
학술지 영향력
[Journal of Mechanical Science and Technology]
- CiteScore
- 3.0
- ES
- 0.00652
- JCI
- 0.41
- JCR
- 1.7
- KCI
- 0.20
- SJR
- 0.418
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