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대형 평판 디스플레이의 정밀 정렬을 위한캘리브레이션 기술
저자
홍준호, 신동원
학술지명
한국기계가공학회지
출판/발행연도
2022
주제
요약
본 연구는 대형 평판 디스플레이의 정렬 정확도를 높이는 캘리브레이션 기술을 연구했습니다. 카메라 및 UVW 스테이지 좌표계를 설정하고 기하학적 분석을 기반으로 보정 방정식을 유도하여 캘리브레이션 오류를 수정하는 기술을 개발했으며, 캘리브레이션 보정 적용 시 1μm 미만의 정렬 정확도와 향상된 반복성을 확인했습니다.
학술지 영향력
[한국기계가공학회지]
- KCI
- 0.29
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