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반도체 Wafer 공정용 불산 제어 밸브 모듈 개발에 관한 연구
저자
김호건, 유승현, 오성훈, 소병문
학술지명
한국기계기술학회지
출판/발행연도
2022
주제
요약
본 연구는 반도체 생산 공정에 적용 가능한 불산에 대한 산화 저항성을 가진 제어 밸브를 개발하는 것을 목표로 한다. 기존 밸브는 외부 환경에 따라 부식될 수 있으며, 밸브 내부에 부식으로 인한 손상이 발생할 수 있는 문제를 해결하기 위해 새로운 밸브 플러그 형상을 개발하여 밸브 제어 장치로의 불산 유입을 차단하고 안정적인 밸브 작동을 유지한다.
학술지 영향력
[한국기계기술학회지]
- KCI
- 0.26
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